新一代高性能FIB技术！诺贝尔奖技术助力FIB新革命

本文介绍了新一代高性能聚焦离子束（FIB）技术，特别是基于极低温铯离子源（Cs+ LoTIS）的FIB: ZERO系统。该技术利用激光冷却技术，将温度降至~10μK，显著提升了离子束的聚焦精度和成像效果。与传统的镓（Ga+）离子源相比，Cs+离子源在加工精度、速度、损伤范围和成像效果上均有显著优势，尤其在高分辨率成像和复杂纳米结构分析中表现突出。研究显示，Cs+离子束在二次电子（SE）产率和二次离子（SI）信号强度方面均优于传统离子源，适用于高精度半导体加工和纳米技术领域。本文通过对比实验，展示了Cs+离子源在材料科学和纳米加工中的应用潜力。