封面 | 激光扫描横向差动共焦显微系统：高速高精度解决微细结构测量难题

本文介绍了北京理工大学赵维谦教授团队研发的激光扫描横向差动共焦显微系统，该系统能够实现半导体晶圆表面微结构的高速高精度测量。研究背景指出，共焦显微技术在多个领域有广泛应用，但现有方法在空间分辨力和测量效率上存在局限。团队提出的新方案通过插入D型光阑和利用轴向响应信号的高线性特点，实现了高分辨测量和高速光束横向扫描。实验结果显示，该系统在轴向分辨力达到1 nm，测量效率比传统方法提高了约3倍。未来，团队将继续在精密光学测量领域进行前沿研究，为超精密测量提供更多新技术和仪器。