The Innovation Materials | 下一代新型铁电材料AlScN：助力实现可重构薄膜体声波滤波器

本文回顾了氮化物铁电材料AlScN在频率可切换薄膜体声波谐振器(FBAR)中的应用进展。传统FBAR器件受限于固定谐振频率，无法实现多频段工作，而AlScN材料的铁电特性使其能够通过极化翻转实现谐振频率的可编程切换，从而构建可重构滤波器。AlScN具有CMOS兼容、高声速和优异热稳定性等优势，但其应用仍面临器件结构复杂、切换电压高和铁电疲劳等挑战。未来研究将聚焦于解决这些问题，推动该技术在下一代无线通信系统中的商业化应用。