东北大学王延庆教授AISY：受眼球运动启发的多自由度微型压电驱动器

背景：随着微电子技术和微机电系统的发展，传统驱动器在尺寸、精度和能耗方面存在局限，压电驱动器因其结构简单、响应快、效率高和精度优良成为理想选择，但现有谐振式多自由度压电驱动器存在尺寸大、激励方案复杂和工作频率高等问题。研究目的：受人类眼球运动机制启发，东北大学王延庆教授团队提出一种连续弹性体结构的多自由度微型压电驱动器（SCPA），旨在实现结构紧凑、多自由度驱动、高负载能力和广泛适应性。结论：SCPA结构紧凑（重7.18g，尺寸31×31×4mm³），能驱动平板和球形滑块，最高线速度110.33mm/s、旋转速度5.73rad/s，分辨率达亚微米级和亚毫弧度级，最大负载313g，负载重量比43.6，适用于显微镜下精确操控电子元件进行故障诊断，并在小型化、效率、精度和负载能力方面表现优异，提出了组合定制结构的通用设计理念。