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深圳技术大学《ASR》:超薄石墨烯应变传感器阵列,用于毫米级分辨率的高灵敏度多功能传感

材料分析与应用 2025-10-11 16:31
文章摘要
本文针对石墨烯柔性传感器阵列在空间分辨率和系统集成方面的技术瓶颈,提出了一种基于超薄聚酰亚胺基板的集成化解决方案。研究背景源于现有制备方法难以兼顾高密度布局与实际应用需求,为此团队通过化学气相沉积石墨烯与微加工技术,开发出4×4布局、单元间距1mm的传感器阵列。研究目的旨在实现毫米级空间分辨率的多功能传感平台,实验表明该阵列在5000次弯曲循环后仍保持稳定性能,应变系数达144(0.8%应变),响应时间仅0.2秒。结论证实该平台能精准监测局部压力分布、动脉脉搏及表面曲率,为可穿戴医疗、柔性机器人等领域提供了可靠的技术路径。
深圳技术大学《ASR》:超薄石墨烯应变传感器阵列,用于毫米级分辨率的高灵敏度多功能传感
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