胡海翔/唐瓦/季鹏等LAM | 基于卷积效应修正的离子束加工去除函数在线测量方法

本文针对离子束加工中小束径去除函数在线测量精度不足的问题展开研究。背景方面，X射线反射镜作为同步辐射光源的核心光学元件，其面形精度直接影响光束性能，而1-10mm空间波长范围内的面形误差修整对加工工具提出极高要求。研究目的旨在提出一种基于卷积效应修正的高精度去除函数在线测量方法，解决传统法拉第杯扫描因卷积效应导致的测量误差。通过理论推导建立离子束流峰值与半高宽的变化关系，该方法将半高宽0.5-1mm去除函数的测量误差控制在3%以内，并成功应用于大口径非球面加工，使面形误差RMS值从1.7nm降至0.4nm，为极端精度制造奠定理论基础。