天津大学程振洲团队：新型超薄硅基波导赋能片上特异性气体传感 | 专辑封面

本文背景为气体传感技术在多个领域具有广泛应用，TDLAS技术因其高灵敏度和特异性成为研究热点，但面临小型化与集成化挑战。研究目的是设计一种新型纳米薄膜硅基波导，以平衡高倏逝场占比、低光学损耗和大加工容差，实现片上TDLAS气体传感。实验结果表明，该传感器在1653.7 nm波长处对甲烷气体的检测限低于5%，信号线性拟合系数达0.99，且具备良好重复性和稳定性，验证了其在甲烷预警等场景的应用潜力，未来可向单片集成和痕量检测方向发展。