斯坦福大学鲍哲南教授团队 Nature 综述：用于可穿戴和植入式 - 本征可拉伸晶体管和集成电路

本文综述了本征可拉伸晶体管和集成电路在可穿戴和植入式电子设备中的发展。背景方面，随着电子设备与人体无缝集成需求的增长，传统刚性器件因机械不匹配难以与生物组织稳定接触，而本征可拉伸器件通过可拉伸材料实现高器件密度和生物相容性。研究目的上，文章旨在总结高性能本征可拉伸晶体管的操作原理、器件设计、材料选择和制备工艺，关键指标包括高迁移率、机械稳定性和低电压操作。结论指出，过去十年材料与工艺进步使器件性能媲美多晶硅，但未来需优化介电层和图案化技术，通过跨学科合作推动生物医疗和软机器人等领域的应用。