上海交大刘智崑《Additive Manufacturing》：3D 打印单晶硅！

背景：在微纳尺度实现半导体材料的3D打印是增材制造领域的重大挑战，传统激光加工技术难以获得单晶硅结构。研究目的：上海交大刘智崑团队旨在开发一种无需光刻机的新型3D打印技术，实现单晶硅纳米结构的快速制造。结论：该研究通过液态硅烷前驱体结合激光直写技术，成功实现了特征尺寸突破光学衍射极限的单晶硅纳米结构增材制造，为三维集成电路等器件提供了低成本制造新方案。