首页 > 材料科学

名古屋大学全球首次成功实现无卤素氧化铪的各向异性原子层刻蚀

计算材料学 2025-11-20 17:10
文章摘要
本研究背景是半导体器件高集成化需求推动电路图案微细化发展，其中氧化铪作为铁电存储器和栅极绝缘膜的关键材料面临刻蚀难题。研究目的是开发无卤素的等离子体工艺，实现氧化铪在室温下的各向异性原子层刻蚀。通过交替使用氮等离子体和氧等离子体照射，形成挥发性反应产物并控制离子能量，最终成功实现低损伤刻蚀且降低表面粗糙度，结论表明该方法为新一代半导体制造提供了环保实用的技术突破，具有重要里程碑意义。
名古屋大学全球首次成功实现无卤素氧化铪的各向异性原子层刻蚀
查看文献： Halogen-Free Anisotropic Atomic-Layer Etching of HfO<sub>2</sub> at Room Temperature.
查看期刊：Small Science
阅读全文
本站注明稿件来源为其他媒体的文/图等稿件均为转载稿，本站转载出于非商业性的教育和科研之目的，并不意味着赞同其观点或证实其内容的真实性。如转载稿涉及版权等问题，请作者速来电或来函联系。
推荐文献
MedChemComm MedChemComm
The dual functions of a nor-sesquiterpene-triazole derivative against influenza A viruses through the activation of the Nrf2/HO-1 signaling pathway and interaction with hemagglutinin
DOI: 10.1039/D5MD00841G Pub Date : 2026-02-27
IF 3.597 Q2
MedChemComm
Small Science Small Science
Microfluidics-Driven Piezophotocatalysis: An Innovative Approach for Accelerated Water Remediation Using PVDF-Transition Metal Sulfide-Based Piezocatalysts.
DOI: 10.1002/smsc.202500576 Pub Date : 2026-03-10 Date: 2026/3/1 0:00:00
IF 8.3 Q1
Small Science
ACS Applied Bio Materials ACS Applied Bio Materials
TiO<sub>2</sub> Nanotubes Decorated with Ag and Zn Nanoparticles on CP-Ti for Biomedical Applications: Evaluation of Electrochemical and Antibacterial Behavior against <i>Staphylococcus aureus</i>.
DOI: 10.1021/acsabm.5c02089 Pub Date : 2026-03-31
IF 4.7 Q2
ACS Applied Bio Materials
最新文章
一名中国博士生的求救：导师严重伤害了我，我该投诉还是退学？
一名中国博士生的求救：导师严重伤害了我，我该投诉还是退学？
编译 | 张晴丹近日，一封寄往《自然》杂志的读者来信，揭开一位中国博士生隐秘的伤痛。当学术殿堂的引路人变成精
2026-04-02
武汉大学《JAC》反应累积叠轧结合后续热处理制备的Ni-Ni3Al复合材料的强塑性协同提升
武汉大学《JAC》反应累积叠轧结合后续热处理制备的Ni-Ni3Al复合材料的强塑性协同提升
Ni₃Al是镍基合金中关键的金属间化合物强化相。传统上通常采用复杂的多组元合金化与热处理工艺，来改善其本征的室温脆性并提升强化效果。
2026-04-02
中国科学院院士、C9大学党委书记，有重要职务！
中国科学院院士、C9大学党委书记，有重要职务！
来源：南京大学、央视新闻 等编辑整理 ：双一流高教2026年3月30日，世界数据组织在北京正式成立
2026-04-02
五年磨出Nature，她却告别学术圈：真正的科研，从不是困在象牙塔
五年磨出Nature，她却告别学术圈：真正的科研，从不是困在象牙塔
2026-04-02
计算材料学
PRL Editors' Suggestion:光诱导的弗洛凯（Floquet）非常规磁性
PRL Editors' Suggestion:光诱导的弗洛凯（Floquet）非常规磁性 2026-04-02
《自然—物理学》：沈健/何攀课题组发现巨大的非线性谷霍尔效应
《自然—物理学》：沈健/何攀课题组发现巨大的非线性谷霍尔效应 2026-04-02
慕尼黑大学Aydin课题组新增博士后岗位（全钙钛矿叠层电池方向）
慕尼黑大学Aydin课题组新增博士后岗位（全钙钛矿叠层电池方向） 2026-04-02
通用机器学习原子间势函数的系统性软化行为
通用机器学习原子间势函数的系统性软化行为 2026-04-02
机器学习增强了二维材料的表面生长：合成、表征和机制
机器学习增强了二维材料的表面生长：合成、表征和机制 2026-04-02
热门类别
综合性期刊 物理 法学 地球科学 历史学
相关文章
中国民航大学接收材料科学与工程，物理学，航空制造工程调剂研究生 燕山大学环化学院招收调剂（电池和离子热电方向） 中科院新疆理化所诚聘能源电化学方向博士后、博士和科研助理启事 天津科技大学-（院士团队）先进纤维与纸基功能材料课题组 招收2026硕士调剂生 破解T细胞“能量分配”之谜！《Cell》揭示半胱氨酸如何分两路决定免疫细胞的杀伤与增殖
Book学术官方微信
Book学术文献互助
Book学术文献互助群
群 号：604180095
Book学术
文献互助 智能选刊 最新文献 互助须知 联系我们：info@booksci.cn
Book学术提供免费学术资源搜索服务，方便国内外学者检索中英文文献。致力于提供最便捷和优质的服务体验。
Copyright © 2023 Book学术 All rights reserved.
ghs 京公网安备 11010802042870号 京ICP备2023020795号-1