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研究透视:三星NAND闪存-铁电场效应晶体管 | Nature

今日新材料 2025-11-27 11:30
文章摘要
本研究背景源于人工智能和数据中心对低功耗存储技术的迫切需求,传统NAND闪存因串式架构需高电压操作导致功耗过高。研究目的是通过开发铁电-氧化物通道异质结结构,采用锆掺杂二氧化铪铁电层与氧化物半导体沟道,实现超低功耗存储器。研究结论表明,该铁电场效应晶体管具备接近零的通过电压,功耗降低96%,支持每单元5位存储,并成功集成至25纳米3D堆叠结构,为下一代高能效存储解决方案提供了技术路径。
研究透视:三星NAND闪存-铁电场效应晶体管 | Nature
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