北京大学《Nature》子刊：我国芯片领域获得新突破！可显著减少芯片光刻缺陷

DOI: 10.1016/j.scib.2025.11.004 Pub Date : 2026-03-30 Date: 2025/11/4 0:00:00

IF 21.1 1区 综合性期刊 Q1

DOI: 10.1016/j.isci.2026.115347 Pub Date : 2026-04-17 Date: 2026/3/14 0:00:00

IF 4.1 2区 综合性期刊 Q1

DOI: 10.1038/s41467-026-71233-1 Pub Date : 2026-04-01

IF 16.6 1区 综合性期刊 Q1