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上海交通大学李学刚教授团队：变废为宝——二氯氢硅揭开甲硅烷生产新篇章

RSC Chemical Sciences 2026-01-19 09:00

文章摘要

背景：高纯甲硅烷是微电子、光电子及锂电池硅碳负极材料等领域的关键特种气体，传统三氯氢硅（TCS）歧化制甲硅烷工艺存在流程长、成本高、效率低等问题。研究目的：上海交通大学李学刚教授团队与沈阳化工大学周明东教授团队合作，研究二氯氢硅（DCS）歧化制甲硅烷新路线，并与TCS路线进行对比分析，旨在开发更高效节能的甲硅烷生产技术。结论：研究表明，基于反应精馏的DCS歧化路线在热力学和动力学上均优于TCS路线，单位能耗可降低约78%，且能与改良西门子法多晶硅工艺紧密结合，副产TCS可返回多晶硅生产，实现工艺闭环，是目前最具竞争力的技术路线。

上海交通大学李学刚教授团队：变废为宝——二氯氢硅揭开甲硅烷生产新篇章

查看文献： Silane production from the dichlorosilane by-product of the Siemens process: a comparative study with the trichlorosilane route
查看期刊：Industrial Chemistry & Materials

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