聚焦氦离子束技术——高温超导约瑟夫森结制备的潜力路径

背景：高温超导约瑟夫森结在制冷能效和工作频率上优于低温超导约瑟夫森结，但其可控及可重复制备面临挑战，传统方法如双晶结、台阶结或掩膜离子辐照在结的一致性、规模化集成和性能上存在局限。研究目的：探讨聚焦氦离子束技术作为高温超导约瑟夫森结制备的新路径，分析其技术优势、发展历程和应用案例，以解决可控、可重复制备及大规模集成问题。结论：聚焦氦离子束技术凭借亚纳米级精度、直写式加工和剂量可调等特性，能实现对结区势垒的精细调控，已成功用于制备高性能SQUID和结阵列，在液氮温区展现出良好性能，为高温超导器件在精密计量、弱磁探测和太赫兹应用等领域的规模化发展提供了潜力路径。