【JST事业成果】开发将激光加工速度提高100万倍的新技术

本文介绍了一项由东京大学伊藤佑介副教授团队开发的新激光加工技术，该技术通过同时调控激光的“空间波形”与“时间波形”，将玻璃等透明材料的加工速度提升至传统方法的100万倍。背景：新一代半导体封装正从树脂基板转向玻璃基板，但玻璃基板硬度高且脆，传统蚀刻工艺工序复杂、环境负荷大，而传统激光加工单孔耗时超过10秒，无法满足量产需求。研究目的：开发一种能够高速、高精度地在玻璃基板上加工贯穿孔的技术。结论：研究团队利用贝塞尔光束作为空间波形，结合皮秒级强光与微秒级弱光组合的时间波形，成功在20微秒内加工出直径3微米、深度1毫米的贯穿孔，且几乎无裂纹和变形。该技术不仅大幅降低了激光强度和功耗，还适用于蓝宝石、碳化硅、金刚石等其他透明材料，有望为透明材料加工及整个制造业带来革命性变革。