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四川大学何亮、田鹏、殷鸿波Small：C-MEMS的规模化制造，结构设计和性能提升策略

MaterialsViews 2024-07-31 08:30
文章摘要
本文由四川大学的何亮、田鹏和殷鸿波撰写，系统综述了碳基微电子机械系统（C-MEMS）的最新进展，包括其结构工程、规模化制造、性能优化策略及实际应用。文章强调了C-MEMS在小型化器件中的重要性，探讨了通过多孔结构和平面图案设计提升性能的策略，并比较了多种制造技术。此外，文章还讨论了C-MEMS在能量存储、传感、光电子和生物医疗等领域的应用，并指出了该领域面临的挑战和未来的研究方向。
四川大学何亮、田鹏、殷鸿波Small：C-MEMS的规模化制造，结构设计和性能提升策略
查看文献： Carbon Micro/Nano Machining toward Miniaturized Device: Structural Engineering, Large-Scale Fabrication, and Performance Optimization
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