文献互助
智能选刊
最新文献
×
高级搜索
发布求助
登录
注册
首页
>
文献互助
>
求助详情
CMP Process Optimization Engineering by Machine Learning
已完结
10
由 bit5i54 发布于 2024/9/11 11:10:18
DOI:10.1109/ISSM51728.2020.9377524
文献类型:期刊论文
补充材料:
只需要正文
文献链接:
https://doi.org/10.1109/ISSM51728.2020.9377524
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Abstract:
Advanced Chemical-mechanical polishing (CMP) process not only needs to maintain stable run-to-run thickness control to achieve better within wafer/within chip planarization performance, but
应助信息
求助已完结,文件已删除
如有需求请重新发布求助
一键发布
感谢使用Book学术
本站所有文献仅供个人学习和参考,请勿将文件进行传播。共同遵守网站规定和相关知识产权规定。
上一个求助:
其它数据库
Naturally Fractured Carbonate Reservoir Characterization: A Case Study of a Mature High-Pour Point Oil Field in Hungary
下一个求助:
Springer
A novel zero-watermarking algorithm based on robust statistical features for natural images
求助榜
100
《新疆土壤》
100
中国土系志·新疆卷
50
The Chinese banking sectors structured deposits: growth, role in interest rate pass-through, and implications
20
Competitive Coordination-Induced Formation of Fe-O-Ce Structure in Beta Zeolite to Enhance Moderate-to-High Temperature Selective Catalytic Reduction of NOx with NH3
20
The coexistence of moral-educational values and neoliberal selves: Situating affect in the linguistic landscapes of a university as a branded space
10
Defining alarm thresholds for the load of pathogenic viruses in wastewater for decision making: An application to three French cities
10
From UAV imagery to mapping: Detecting sunflower heads in fields using a novel lightweight deep learning network
10
Probe into the mechanism of water absorption-disintegration of coal gangue aggregates and its influence on concrete properties
20
Building Conventional Metasurfaces with Unconventional Interband Plasmonics: A Versatile Route for Sustainable Structural Color Generation Based on Bismuth (Advanced Optical Materials 10/2024)
20
Multiscale Chiral Plasmonic Structural Color Metamaterials With Tunable Chirality and Polarization‐Dependent Optical Encryption
数据汇报
今日求助成功率
83.63%
10分钟内应助率
75%
×
文件太大,请先压缩
压缩工具见页面“
在线压缩PDF
” “
电子书转换PDF
”
确认
×
驳回该文件
如有下载等问题,请先联系客服,QQ:3817741309
请认真填写驳回理由,尊重他人尊重自己。驳回信息,管理员会进行严格审核,一经发现恶意驳回或是问题不明确,将会冻结账户。
驳回理由:如
文章不完整,标题不一致,DOI不相同等具体错误。
请勿填写敏感或隐私信息
确认
×
确认采纳?
请先查看文件,符合求助条件再采纳!
确认采纳后求助将自动完结,文件保留36小时。
给应助人说点什么吧!
请勿填写敏感或隐私信息
确认
×
布克学术提示
您的操作可能存在违规,请确认如下信息:Book学术上的文件仅供个人学习参考,格式不应该成为驳回理由。如确对格式有要求,请提供正确格式文件的网址链接以及DOI号。以方便网友应助。
确认驳回
更新求助
×
已经应助了
您求助的文件,已经有人上传,请查看!
确定
×
导入到我的文献
确认导入后将自动采纳文献。
确认
×
导入成功
去查看
×
取消求助
取消求助理由(必填)
请勿填写敏感或隐私信息
确认
×
取消应助
取消应助理由(必填)
请勿填写敏感或隐私信息
确认
×
上传成功,灰常感谢!
还有小伙伴儿在等待应助,欢迎前往查看!再次应助可多得
5积分
微信
客服QQ
扫码关注我们
反馈
顶部
×
意见反馈
请填写您的意见或建议
请填写您的手机或邮箱
×
快捷登录
密码登录
未注册的手机号,验证通过后自动注册
获取验证码
勾选即代表同意
《Book学术使用协议》
注册新账号
两周内记住我
忘记密码?
注册新账号
打开微信,扫描二维码
您必须已注册Book学术,并关注『Book学术』公众号绑定账户。
请完成安全验证
×
Book学术文献互助群
群 号:604180095
文献互助
智能选刊
最新文献
互助须知
联系我们:info@booksci.cn
Book学术提供免费学术资源搜索服务,方便国内外学者检索中英文文献。致力于提供最便捷和优质的服务体验。
Copyright © 2023 Book学术 All rights reserved.
京公网安备 11010802042870号
京ICP备2023020795号-1
×