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Bias-supply timing tailored to the aspect ratio dependence of silicon trench etching in Ar plasma with alternately injected C4F8 and SF6
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由 居鸭 发布于 2025/1/7 14:53:57
DOI:10.1016/j.apsusc.2023.157981
作者:Taito Yoshie, Kenji Ishikawa, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Shih-Nan Hsiao, Takayoshi Tsutsumi, Makoto Sekine, Masaru Hori
文献类型:期刊论文
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Elsevier
Abstract:
In semiconductor device fabrication, the feature profiles of a high-aspect-ratio (HAR) Si trench is needed to be controlled considering aspect-ratio-dependent etching (ARDE). This is achieve
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