2009 2nd International Workshop on Electron Devices and Semiconductor Technology

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Charge trapping property of RTN grown oxynitride films on strained-Si

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Micromachined piezoelectric acoustic device

Pub Date : 2009-06-01 DOI: 10.1109/EDST.2009.5166095 T. Ren, Hao Chen, Yi Yang, Yiping Zhu, D. Fu, Chao Wang, Xiaoming Wu, Jian Cai, Litian Liu, Zhi-Jian Li

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