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材料科学
研究前沿:台积电-二维材料WSe2薄膜生长,AACVD | Nature Communications
今日新材料
2025-03-24 13:35
文章摘要
本文介绍了台积电与台湾大学合作在Nature Communications上发表的研究,主要探讨了使用碱辅助化学气相沉积(AACVD)技术生长高质量、大面积WSe2薄膜的方法。研究背景在于p型WSe2晶体管的发展落后于n型MoS2,主要由于高质量WSe2薄膜的生长挑战。研究目的是通过AACVD技术,利用KOH增强蓝宝石衬底上的成核作用,实现单层和双层WSe2的可控生长。研究结果表明,通过此技术生长的WSe2薄膜具有低缺陷密度,双层WSe2晶体管表现出优异的空穴/电子迁移率,显示出在高性能电子应用中的潜力。
查看文献:
Large-scale alkali-assisted growth of monolayer and bilayer WSe2 with a low defect density
查看期刊:
Nature Communications
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