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化学气相沉积(CVD)技术解读!

顶刊收割机 2025-05-12 19:06
文章摘要
本文详细介绍了化学气相沉积(CVD)技术的原理、类型、应用及特点。CVD技术是一种通过气相物质在基材表面发生化学反应形成薄膜镀层的表面处理技术,广泛应用于耐磨、抗氧化、抗腐蚀等领域。文章从CVD的基本原理出发,阐述了其反应条件和沉积过程,并分类介绍了热分解反应、氢还原反应、置换或合成反应等多种CVD反应类型。此外,文章还探讨了CVD技术在微电子、机械材料、光学材料等领域的应用,并通过案例分析展示了CVD在二维MOF单层可控生长和电子开关行为实现中的创新性应用。
化学气相沉积(CVD)技术解读!
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