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成果 | 高鹏课题组实现界面声子输运动力学的亚纳米分辨探测

北大物理人 2025-06-12 09:01
文章摘要
该研究由北京大学物理学院高鹏课题组完成,利用电子显微镜技术实现了亚纳米分辨的温度场和界面热阻测量,揭示了界面声子主导的跨界面热输运的微观机制。研究背景在于半导体芯片中界面声子失配引起的热阻问题,现有探测手段难以满足亚10纳米工艺制程的需求。研究目的是开发一种高分辨率的界面热输运探测方法。研究结果表明,AlN/SiC界面处存在显著的温度突变和非平衡声子态,界面热阻是块体材料的30–70倍,为芯片界面工程和热管理材料研究提供了理论指导。
成果 | 高鹏课题组实现界面声子输运动力学的亚纳米分辨探测
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