Nature communication 光学纳米印刷中少光子辐照下的双光子吸收

背景：双光子吸收（TPA）技术在三维成像和纳米印刷中应用广泛，但传统激光扫描技术存在分辨率与效率的权衡问题。研究目的：提出少光子辐照TPA概念，建立时空模型以优化超低光子辐照下的TPA效率，并通过实验验证其在纳米光刻中的性能。结论：在517 nm激光波长下，采用原位多次曝光技术实现了26 nm特征尺寸和0.41 λ图案周期，将印刷效率提升5个数量级，突破了分辨率与效率的传统限制，为微电子和生物医学等领域的纳米制造提供了新方案。