Light | 等离子体钛酸钡-氮化硅平台：光通信中突破 200 GBd 高速调制

背景：集成光子学平台在高速光信号调控中备受青睐，但现有技术难以同时实现高调制速率、低损耗、宽光谱适配和紧凑集成。氮化硅平台缺乏强电光效应，而其他材料在热稳定性或集成兼容性上存在短板。研究目的：为突破这些限制，研究旨在设计一种新型集成平台，融合氮化硅的低损耗、钛酸钡的强泡克尔斯效应以及纳米等离子体技术，以实现高速、高效的光通信调制。结论：研究成功构建了等离子体BTO-on-SiN平台，并基于此单片集成了C波段马赫-曾德尔调制器、C波段同相正交调制器和O波段跑道微环调制器。这些器件在C波段和O波段均实现了超过200 GBd的符号速率，其中最高达256 GBd，并展现出良好的热稳定性、宽光谱适配性以及与数字信号处理的兼容性，为短距离和长距离高速光通信场景提供了有效的解决方案。