研究进展：光刻胶-非晶态沸石咪唑酯骨架aZIF薄膜 | Nature Chemical Engineering

背景：非晶态沸石咪唑酯骨架（aZIF）薄膜在电子束和极紫外光刻技术中具有重要应用价值，但现有沉积方法依赖经验性试错，难以实现精确控制。研究目的：开发一种基于间歇性旋涂化学液相沉积的新方法，实现对aZIF薄膜厚度和组成的可控沉积，并建立物理预测模型。结论：该方法通过稀释前驱体混合和计算流体动力学分析，成功制备了纳米级厚度可控的高质量aZIF薄膜，适用于高分辨率光刻应用，展示了优异的电子束和极紫外光刻性能。