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重庆大学艾斌Chemical Society Reviews：基于阴影球光刻、等离子体与人工智能的下一代智能传感

材料人 2025-09-29 09:26

文章摘要

本文背景聚焦于能源、医疗健康和智能制造等领域对传感器性能的严苛要求，传统传感器难以满足亚百分点精度和晶圆级集成等需求，而等离子体微纳光学传感器有望突破这些限制。研究目的旨在系统回顾2019-2024年间阴影球光刻、等离子体技术和人工智能三条研究路线的全链条融合进展，构建闭环研究框架。结论表明，通过多参数协同的可编程设计、结构-光谱映射模型及AI闭环信号引擎的整合，实现了传感器从经验驱动到目标驱动的范式升级，为工业级智能传感平台奠定基础，同时指出晶圆级逆向设计和自适应解析等未来挑战。

重庆大学艾斌Chemical Society Reviews：基于阴影球光刻、等离子体与人工智能的下一代智能传感

查看文献： Closing the loop in next-generation sensing through shadow sphere lithography, plasmonics, and artificial intelligence
查看期刊：Chemical Society Reviews

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