国家重点研发计划特色专题：X射线衍射元件自主可控核心技术 |《光学学报（网络版）》

本文围绕X射线衍射元件自主可控核心技术展开研究。背景方面，X射线显微技术作为前沿成像手段，在纳米尺度高分辨率成像中具有独特优势，但高性能衍射元件成为制约该技术发展的关键瓶颈。研究目的旨在通过国家重点研发计划支持，在元件设计、制备工艺与性能表征方面实现突破。研究团队建立了波带片衍射效率矢量分析与误差模型，创新提出电子束光刻能量分布模型，成功研制出分辨率26.1 nm、衍射效率4.5%的硬X射线波带片，13.4 nm分辨率的软X射线波带片，以及高线密度闪耀光栅，并构建综合测试平台在上海同步辐射光源完成验证。结论表明，这些突破为推进我国X射线显微成像与光谱探测领域发展提供了重要技术支撑。