香港科技大学(广州)王蕴达团队SMTD:高精度、大面积金属薄膜转移助力微纳制造与异构集成
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2025-11-01 08:30
文章摘要
背景:随着柔性电子和异质集成器件的快速发展,传统金属沉积工艺面临界面损伤和基底兼容性等问题。研究目的:开发一种高精度、大面积金属薄膜干法转移技术,以解决传统工艺的局限性。结论:基于形状记忆聚合物的转移技术实现了亚微米级精度和多种金属/基底兼容,为微纳制造提供了新方案。
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