[文献速递Vol.332]-深度特征融合快照压缩显微镜实现超越相机帧率限制的高分辨率亚像素成像

本研究针对传统相机在高速成像中因帧率限制导致的运动模糊和分辨率下降问题，提出深度特征融合快照压缩显微镜（DFF-SCM）系统。研究背景源于半导体缺陷检测、生物观测等领域对高分辨率高速成像的迫切需求。该系统通过数字微镜器件和结构互补掩模实现单次曝光多帧编码，结合深度特征融合网络提升特征对比度并抑制噪声。实验结果表明，DFF-SCM使用50fps相机可实现1000fps检测速率，在硅片划痕和镜面斑点检测中，缺陷检测率提升33.06%，亚像素特征恢复能力显著优于传统去模糊方法。结论证实该系统在精密制造质量控制中具有高效、低成本的优势。