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北京科技大学，Science！

研之成理 2025-11-24 16:32
文章摘要
背景：二维过渡金属硫族化合物（TMDs）材料因表面无悬挂键特性，难以实现与金属电极的强键合接触，制约其在集成电路中的应用。研究目的：北京科技大学张跃院士团队提出原子层键合（ALB）技术，通过精准剪裁二硫化钼表面硫原子层并直接沉积金属，构建稳定接触界面。结论：该技术实现70Ωμm的超低接触电阻和400℃热稳定性，突破二维半导体工业化瓶颈，为未来芯片制造提供可行方案。
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查看文献： Atomic layer bonding contacts in two-dimensional semiconductors
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