中科院金属所《Science》子刊：闪速退火新策略！实现晶圆级弛豫反铁电储能薄膜电容器

背景：电介质储能电容器在高功率电子设备中应用广泛，但提升其温度稳定性与储能性能面临挑战。研究目的：针对传统工艺复杂的问题，研究团队旨在开发一种新工艺，以制备高性能弛豫反铁电薄膜。结论：通过创新的“闪速退火”工艺，成功制备了晶圆级弛豫反铁电薄膜，该薄膜电容器展现出高储能密度（63.5 J/cm³）、卓越的温度稳定性（-196°C至400°C循环后性能衰减低于3%），以及良好的可扩展性，为芯片级集成储能提供了工业化潜力的解决方案。