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北京理工大学姜澜院士团队：介质超表面-飞秒激光制造，光刻 | Advanced Materials

今日新材料 2026-01-11 11:30
文章摘要
背景：相变介质超表面在光电子领域具有重要应用潜力，但现有技术在大面积高均匀性高精度加工及单个结构单元选择性相位调控方面存在局限。研究目的：北京理工大学团队提出基于相位调制的飞秒激光非衍射光束光刻技术，旨在实现高精度、可编程的介质超表面制备。结论：通过叠加轴棱锥与闪耀光栅相位，将飞秒激光整形为准贝塞尔非衍射光束，显著提升加工景深与稳定性，动态光束偏转控制精度达7纳米。利用该技术成功制备出特征尺寸9纳米的Ge₂Sb₂Te₅超表面，并实现了多功能可编程光子逻辑器件，为有源超表面的制备提供了新范式。
北京理工大学姜澜院士团队：介质超表面-飞秒激光制造，光刻 | Advanced Materials
查看文献： Femtosecond Laser Non-Diffracting-Beam Lithography via Phase Modulation for Dielectric Metasurface Fabrication
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