研究进展：压电生物传感 | Nature Sensors

背景：在宽频率范围内高保真捕获生理信号需要高性能柔性振动传感器，但现有设备难以在全频谱保持均匀高灵敏度、可靠性和低功耗。研究目的：报道一种压电驱动的电容式振动传感器，通过压电振膜作为非接触式电源实现自供能，并采用面内通风结构和最大化阵列密度以提升性能。结论：该传感器表现出626 mV/g的线性灵敏度、80-5000 Hz的平坦频率响应、0.01g的超低检测限和80 dB的信噪比，能高保真检测音乐、语音及呼吸信号，应用于健康监测和疾病诊断。