镍基超导薄膜的氧化物分子束外延制备与调控

本文综述了镍基超导薄膜的氧化物分子束外延(OMBE)制备技术及其调控进展。背景：镍基超导体作为继铜氧化物后的重要高温超导体系，是探索超导机理的理想平台，但其薄膜物性对化学计量比、界面结构、应变及氧含量极为敏感。研究目的：系统分析OMBE技术在高质量镍基超导薄膜制备中的核心作用，重点围绕无限层与Ruddlesden-Popper(RP)双层的化学计量比控制、界面极性调控、原位拓扑还原、自支撑薄膜、原子层沉积序列优化及异价掺杂等关键工艺。结论：OMBE凭借原子级组分控制与原位监测能力，突破了无限层前驱相生长瓶颈并实现超导，揭示了电子结构的多带特征；在双层体系中实现常压超导、构建载流子相图，并澄清了超导能隙与γ能带争议。未来需提升样品可重复性，拓展混合RP结构及原位谱学联用，以深入解析超导机理。