“智能光子应用”专栏 | Sensors：基于SiNx/SiO2并用于空气中甲醛的近紫外光学气体传感的蓝宝石法布里-珀罗干涉仪

本文介绍了一种基于SiNx/SiO2的蓝宝石法布里-珀罗干涉仪（FPI）用于空气中甲醛的近紫外光学气体传感。研究背景是甲醛作为一种挥发性有机化合物，对人体健康有潜在危害，特别是在300-360 nm波段具有光谱特征。研究目的是开发一种成本效益高且适用于大规模生产的甲醛检测技术。研究结论表明，通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）制造的SiNx和SiO2层FPI在近紫外区域表现出优异的光学特性，能够有效检测甲醛，且与传统技术相比具有更高的灵敏度和选择性。