重磅！3D纳米打印登上Nature！

背景：随着微纳器件需求的增长，传统双光子光刻技术因通量低、视场小，难以满足规模化制造需求。研究目的：为突破传统光学系统的限制，开发一种兼顾高通量与纳米级分辨率的3D纳米光刻新方法。结论：研究团队提出了一种基于超透镜阵列和空间光调制器的并行3D纳米光刻平台，实现了超过12 cm²写入区域、每秒超1亿体素的高通量打印，以及113纳米的特征尺寸，为微电子、生物医学等领域的规模化纳米制造提供了新路径。