研究进展：上海大学，高温涂层-非晶介电薄膜Si₃N₄/Al(Ti)N | Nature Communication

背景：非晶介电薄膜在半导体热管理和航空航天热防护等领域应用广泛，但其因结构特性导致热导率低且难以调控，制约了在高功率散热等场景的应用。研究目的：上海大学等机构的研究团队旨在开发一种兼具高热稳定性和可调高热导率的非晶涂层材料。结论：研究通过在非晶Si₃N₄基体中引入不同形态的第二相（非晶Al(Ti)N或晶态TiN），成功制备出双相纳米复合薄膜。实验表明，引入晶态TiN纳米粒子可显著将热导率从约2 W·m⁻¹·K⁻¹提升至15 W·m⁻¹·K⁻¹，升幅达7倍以上，且涂层在高温下表现出优异的热稳定性。该工作揭示了第二相对声子输运的影响机制，为工程化设计高性能热管理涂层提供了新路径。