西南交大闫连山/谢小军等Light丨晶圆级薄膜铌酸锂-磷化铟异质集成平台

本文介绍了西南交通大学研究团队在晶圆级薄膜铌酸锂-磷化铟异质集成平台上的研究成果。背景方面，随着云计算和人工智能服务的快速增长，超大规模数据中心集群对超大容量光互连技术提出了迫切需求，传统电互连面临瓶颈，而光子技术凭借大带宽、低功耗和低时延成为关键解决方案。研究目的是攻克高性能异质集成光电器件规模化集成的关键技术难题。研究团队成功实现了高性能薄膜铌酸锂-磷化铟太赫兹光电探测器、高速平衡光电探测器和大容量相干接收芯片，验证了薄膜铌酸锂集成芯片在大容量光互连场景下的应用，并为大容量6G光子太赫兹通信系统奠定了硬件基础。结论表明，该异质集成平台应用场景广泛，未来有望进一步降低制造成本，加速其在光互连、6G通信等场景中的应用。