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SPJ-超快科学|操斧钺以修毫芒:突破超快激光的加工极限

ScienceAAAS 2025-09-11 14:17
文章摘要
背景:超快激光材料加工领域面临衍射极限带来的加工尺度限制,需要将远场辐射转化为近场分量以实现纳米级加工。研究目的:开发突破光学衍射极限的超快激光纳米加工技术,实现数纳米级特征尺寸和高深宽比结构。结论:利用无衍射贝塞尔光束诱导近场增强效应,在玻璃材料上实现了宽度约10纳米、深宽比达1000:1的纳米结构加工,为光子学、量子信息等领域提供了新加工方案。
SPJ-超快科学|操斧钺以修毫芒:突破超快激光的加工极限
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