3D纳米打印登上Nature！

本文背景是现有双光子光刻技术存在通量低和视场小的瓶颈，难以满足规模化制造需求。研究目的是开发一种兼顾高通量与纳米级分辨率的3D纳米光刻新范式。创新成果是提出了一种基于超透镜阵列和空间光调制器的并行3D纳米光刻平台，实现了厘米级写入区域、超过12万个聚焦光斑的协同工作，通量超过每秒1亿个体素，特征尺寸达113纳米，并能制造复杂非周期性3D结构。结论是该技术突破了传统限制，为微电子、生物医学、量子技术等领域的晶圆级纳米制造提供了可扩展的新路径。