肖云峰/孙志培团队，Nature Materials!

本文针对范德瓦尔斯材料在低损耗、高性能片上光子器件应用中面临的关键瓶颈——缺乏通用、高精度、低损伤的纳米加工方法，由北京大学肖云峰团队与芬兰阿尔托大学孙志培团队合作，开发出一种基于铝钝化保护的聚焦离子束通用纳米加工技术。该方法成功在h-BN、MoS2、GaSe、NbOCl2等多种范德瓦尔斯材料及其垂直堆叠异质结构中制备出微盘、光子晶体等低损耗光学微腔，实现了本征品质因子超过10^6。基于该平台，团队在GaSe微腔中实现了高效连续波二次谐波产生，归一化转换效率较此前报道提升4个数量级，并展示了连续波和频及光参量放大等非线性过程。结论表明，该工作突破了范德瓦尔斯材料仅作为辅助材料的传统局限，为构建低损耗、高集成度、多功能的片上光子芯片开辟了新路径，未来在可重构光子学、量子光源及高灵敏传感等领域具有重要应用潜力。